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一、仪器用途
聚焦离子束‑能谱联用仪（FIB‑EDS）主要用于材料微观区域的纳米加工、截面切片、TEM样品制备、三维重构，同时可对微区开展元素定性、半定量分析、元素面分布Mapping、线扫描分析；适用于半导体器件、金属、陶瓷、复合材料等样品的微观形貌观测、微区成分分析、失效分析等工作。
二、主要技术参数
1. 离子源：液态金属镓离子源；
2. 离子束加速电压：2 kV、30 kV；
3. 电子束加速电压：500 V、30 kV；
4. 二次电子成像分辨率：≤4 nm@30 kV；
5. 离子束最小束斑：纳米级，可实现微区刻蚀、沉积、切片制样；
6. 能谱探测器：硅漂移半导体探测器（SDD），可探测元素范围：Na～U；
7. 具备EDS点分析、线扫描、元素面分布Mapping功能。
8. 配备了样品真空转移杆。
三、预约说明
1. 样品要求：样品需导电，非导电样品建议喷金/喷碳处理（测试中心可做）；样品尺寸、高度满足样品台行程限制，无磁性、无挥发性、无易腐蚀组分；
2. 制样类实验（TEM薄片、截面切割）需提前沟通样品目标区域与加工尺寸；
3. 严禁带入含水、松散粉末、会在高真空下放气的样品；
4. 实验操作优先由授权人员上机，新手需经过仪器培训考核后方可独立预约使用；
5. 仪器使用完毕后，清理样品台，填写仪器使用记录，出现异常故障及时反馈管理人员。
